超纯材料和超净环境

摘要

文章论述了在半导体工艺中超纯材料和超净环境所处的重要地位和作用，并着重讨论了搞好净化系统、厂房的设计建造和运行管理的几个重要环节，以供从事该项工作的组织管理。