一种能够提高CPI抗水汽能力的膜层结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种能够提高CPI抗水汽能力的膜层结构及其制造方法，膜层结构包括CPI薄膜和抗水汽涂层，抗水汽涂层由SiO2或Si3N4构成，抗水汽涂层沉积在CPI薄膜的一表面上，CPI薄膜与抗水汽涂层之间设有氧化物过渡层，氧化物过渡层由强离子性氧化物构成；其制造方法包括如下步骤：（1）在玻璃基板上以涂布方式形成一层CPI薄膜；（2）对CPI薄膜的表面进行活化处理，使CPI薄膜的表面出现悬键，该悬键包含活化的氟离子和氧离子；（3）在活化处理后的CPI薄膜表面溅射沉积氧化物过渡层；（4）在氧化物过渡层的表面上溅射沉积抗水汽涂层。本发明能够有效增加抗水汽涂层与CPI薄膜的结合力，具有良好的抗水汽能力。