公开/公告号CN113555506A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学(深圳);
申请/专利号CN202110763393.1
申请日2021-07-06
分类号H01L51/48(20060101);H01L51/46(20060101);H01L51/42(20060101);
代理机构44451 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张西红
地址 518000 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
入库时间 2023-06-19 13:00:48
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