一种大面积碲锌镉(211)B材料表面抛光方法

摘要

本发明公开了一种大面积碲锌镉(211)B材料表面抛光方法，碲锌镉(211)B衬底用于分子束外延碲镉汞薄膜材料，碲锌镉(211)B衬底面积为40×40mm2～50×50mm2。通过在抛光液中加入一定浓度的增润剂及抛光前处理抛光垫来降低衬底表面抛光粗糙度；并少量多次加入氧化剂来配制抛光液；针对主要抛光参数(氧化剂浓度、抛光压力、抛光盘转速、抛光时间)实施多因素实验方案的设计及优化来确定最优化抛光参数。此方法解决了大面积碲锌镉(211)B衬底精密抛光过程中抛光均匀性和一致性难以控制的难题，采用本发明的方法，衬底抛光表面粗糙度可达0.34nm、平整度可达1.19μm，实现了对碲锌镉衬底表面的精密加工。