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公开/公告号CN113533266A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202110410813.8
发明设计人 守屋刚;榎美贵;远山时生;高桥通宏;森拓也;
申请日2021-04-16
分类号G01N21/64(20060101);G01N21/01(20060101);G01V8/10(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人舒艳君;王海奇
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 12:57:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/64 专利申请号:2021104108138 申请日:20210416
实质审查的生效
机译: 异物检查系统,异物检查方法,程序和半导体制造装置
机译: 异物检查装置,异物检查方法,异物污染检查系统和异物污染检查方法
机译: 异物检查装置,异物检查方法,异物污染检查系统,异物污染检查方法
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