HARP膜的形成方法

摘要

本发明公开了一种HARP膜的形成方法，包括：步骤一、采用HARP工艺沉积HARP膜。步骤二、对HARP膜进行表面预处理以减少HARP膜表面吸附的电荷。步骤三、对HARP膜进行退火处理。本发明能防止在HARP膜退火处理中形成球形缺陷，从而能提高产品良率。