公开/公告号CN102254998B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院深圳先进技术研究院;
申请/专利号CN201110200888.X
申请日2011-07-18
分类号H01L31/18(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/58(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人吴平
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
入库时间 2022-08-23 09:13:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-20
授权
授权
2012-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20110718
实质审查的生效
2011-11-23
公开
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