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无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其硫化锌缓冲层薄膜的制备方法

摘要

一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层,形成样片;步骤二、将二水合醋酸锌溶解于无水乙醇中,再加入稳定剂,加热形成溶胶;步骤三、将样片浸入所述溶胶中,浸渍时间为5~10秒,然后将样片从所述溶胶中提起;步骤四、将样片在100~200℃下干燥30分钟,使样片表面形成氧化锌薄膜;步骤五、将样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理,将氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜;及步骤六、在硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层。上述制备方法在退火过程中由于温度较高,因此能够提高薄膜的结晶质量。本发明还提供一种硫化锌缓冲层薄膜的制备方法。

著录项

  • 公开/公告号CN102270699A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院深圳先进技术研究院;

    申请/专利号CN201110202078.8

  • 发明设计人 卢兰兰;刘壮;肖旭东;

    申请日2011-07-18

  • 分类号H01L31/18;C03C17/36;

  • 代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;

  • 代理人吴平

  • 地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号

  • 入库时间 2023-12-18 03:55:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-03-05

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20111207 申请日:20110718

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-01-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20110718

    实质审查的生效

  • 2011-12-07

    公开

    公开

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