公开/公告号CN102270699A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院深圳先进技术研究院;
申请/专利号CN201110202078.8
申请日2011-07-18
分类号H01L31/18;C03C17/36;
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人吴平
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
入库时间 2023-12-18 03:55:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-05
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20111207 申请日:20110718
发明专利申请公布后的驳回
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20110718
实质审查的生效
2011-12-07
公开
公开
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