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公开/公告号CN113488399A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 广东工业大学;
申请/专利号CN202110661954.7
发明设计人 张昱;童金;崔成强;梁沛林;杨冠南;
申请日2021-06-15
分类号H01L21/60(20060101);
代理机构44379 佛山市禾才知识产权代理有限公司;
代理人单蕴倩;朱培祺
地址 510062 广东省广州市越秀区东风东路729号
入库时间 2023-06-19 12:49:58
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