公开/公告号CN113488428A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 拓荆科技股份有限公司;
申请/专利号CN202110622499.X
发明设计人 郑亚新;
申请日2021-06-04
分类号H01L21/687(20060101);
代理机构21229 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙);
代理人甄玉荃
地址 110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
入库时间 2023-06-19 12:49:58
机译: 晶圆载置台及其制造方法
机译: 晶圆载置台的制造方法
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