一种贝塞尔玻璃切割头光束质量测试系统

摘要

本发明公开了一种贝塞尔玻璃切割头光束质量测试系统，包括贝塞尔镜头、显微物镜、滤光片、筒镜、成像镜头、显影液体、CCD1、CCD2和PC，从贝塞尔镜头出射的光在特定的位置产生贝塞尔分布光斑，光斑尺寸在3‑5um之间，经过长工作距离的显微物镜放大，再经过滤光片，筒镜聚焦在CCD2探测面上，经过图像处理显示在计算机屏幕上，通过位移平台在光束轴向方向移动便可以获得整个贝塞尔区域任何轴向位置光斑垂轴方向强度分布情况。本发明可真实的反映出贝塞尔光斑强度分布情况，并且增加了侧向光学成像镜头探测，快速测得轴向光强分布情况。