公开/公告号CN113471070A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司;
申请/专利号CN202110555481.2
申请日2021-05-21
分类号H01L21/306(20060101);H01L21/3065(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构11596 北京易光知识产权代理有限公司;
代理人崔晓光
地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区经海二路28号8幢
入库时间 2023-06-19 12:46:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
授权
发明专利权授予
机译: 使用氢自由基和臭氧气体处理工件
机译: 使用臭氧气体和螯合剂的工件加工
机译: 使用臭氧气体和溶剂进行工件加工