オゾンガス滅菌システムによる無菌環境維持：オゾンガスを用いた滅菌システムの紹介と滅菌効果の確認

摘要

クリーンルームの滅菌方法として従来より用いられているホルムアルデヒドガス滅菌に代わるオゾンガス滅菌についてそのシステムの紹介とクリーンルームにおける滅菌効果の確認結果について述べる。