基于频率检测原理的MEMS压力传感器及制备方法

摘要

基于频率检测原理的MEMS压力传感器，采用平面螺旋电感，且在该电感的一侧设置MEMS可变平行板电容，构成LC谐振电路；MEMS电容并联到CPW信号线和地线之间，其上极板为CPW信号线，且该上极板直接置于MEMS薄膜上，该MEMS薄膜正下方的衬底上设置凹槽，MEMS电容的下极板位于凹槽的底面和靠近地线的两个侧面上，且与地线相连；MEMS薄膜两端置于地线上，与凹槽形成密闭腔体。利用密闭腔体感测外部压强，当密闭腔体内外压差发生变化时，MEMS薄膜发生挠曲，引起MEMS电容的上极板和下极板之间的电容发生变化，使得CPW传输线上RF信号的谐振频率产生偏移，通过测量谐振频率值便可表征检测压力的大小。