一种基于相位检测原理的MEMS压力传感器及制备方法

摘要

本发明提供一种基于相位检测原理的MEMS压力传感器及制备方法，包括：CPW传输线，设置在衬底上，该CPW传输线包括CPW信号线以及位于CPW信号线两侧的CPW地线，CPW信号线与CPW地线相互平行，凹槽设置在衬底上且位于CPW信号线下方；MEMS梁，位于凹槽的底面和靠近CPW地线的两个侧面上并呈倒置的拱桥状，且与CPW地线相连接；MEMS薄膜位于凹槽上方，并与CPW信号线的底面接触，其两端置于CPW地线上，并与凹槽形成密闭腔体。利用密闭腔体来感测外部环境的压强，RF信号在CPW传输线上传输前后的相位差发生变化，从而通过测量RF信号的相位便可获取环境压强。