基于频率自适应的航空用高精度硅谐振压力传感器的频率测试系统研究

摘要

介绍了一种基于自适应周期的快速频率采集的谐振式压力传感器的频率测试系统.该系统利用STM32输入捕获功能实现了快速高精度频率采集,响应时间小于20 ms,测量范围10 kHz～150 kHz,频率测量精度优于+0.05 Hz.采用频率自适应的周期数迭代方法,明显提升了系统的频率测量范围和准确度,适用于传感器的频率变化过程.利用该系统进行传感器性能测试,20 ms采样条件下传感器输出波动小于+5 Pa;快速变温过程(5℃/min)传感器的输出与标准器的偏差小于+30 Pa,满足航空用压力传感器的频率测试要求.