公开/公告号CN113428833A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 瑶芯微电子科技(上海)有限公司;
申请/专利号CN202110814837.X
发明设计人 吕婷;
申请日2021-07-19
分类号B81B7/02(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人卢炳琼
地址 201207 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号3幢405、416室
入库时间 2023-06-19 12:42:10
机译: 热电堆红外传感器,热电堆红外传感器阵列及其制造方法
机译: 用作膜传感器以检测红外辐射的微机械热电堆传感器,其导电区域彼此横向间隔开,并在其上端和/或下端区域电接触,形成热电堆结构
机译: 用于光谱测量红外辐射的传感器元件,包括基板,在基板上侧形成的膜,在基板中的膜下方形成的腔,热电堆结构,过滤装置和热电堆电池