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刘昇;
中煤集团山西华昱能源有限公司 山西朔州 036900;
MEMS; 传感器; 红外检测;
机译:CMOS-MEMS多晶硅/钛热电堆红外传感器的完全定量表征
机译:用于非分散红外气体传感器的微机电系统(MEMS)热电堆的制造,表征和应用
机译:使用小型薄膜叠层增强CMOS-MEMS热电堆红外探测器的性能
机译:MEMS红外热电堆传感器的容错BIST设计
机译:由具有声子晶体结构和碳纳米管吸收层的绝缘体上硅制成的MEMS红外热电堆。
机译:热电堆传感器双模调制的新型红外温度测量
机译:高性能MEMS红外热电堆检测器的研究
机译:基于mEms的热电堆红外探测器阵列,用于化学和生物传感
机译:热电堆红外传感器,热电堆红外传感器阵列及其制造方法
机译:用作膜传感器以检测红外辐射的微机械热电堆传感器,其导电区域彼此横向间隔开,并在其上端和/或下端区域电接触,形成热电堆结构
机译:用于光谱测量红外辐射的传感器元件,包括基板,在基板上侧形成的膜,在基板中的膜下方形成的腔,热电堆结构,过滤装置和热电堆电池
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