一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机

摘要

本发明公开了一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，包括外框和夹紧框，所述夹紧框上表面固定连接有滑块框，所述滑块框内滑动连接有滑块，所述夹紧框内设有使晶圆夹紧的夹紧机构，所述外框的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴穿过外框并固定连接有安装轴，所述安装轴的底部穿过并固定连接有斜圆柱，所述安装轴的底部内侧花键连接有弹簧块，所述弹簧块穿过安装轴底面并与滑块固定连接，所述夹紧框上设有使晶圆振动的振动机构，所述振动机构包括底座和第四弹簧，所述第四弹簧套设在弹簧块表面，且所述第四弹簧位于弹簧块与安装轴内底面之间。本发明初步清除表面反应物时所产生的振动效果显著，使后续的清除效率提高。