高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

摘要

高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压，该高电压脉冲产生装置具有：n个变压器芯，它们构成变压器，n为2以上的自然数，n个变压器芯分别构成为形成沿着第1面的磁路，n个变压器芯各自的与第1面平行的第1方向的宽度比与第1面平行且与第1方向垂直的第2方向的宽度大；变压器的n个一次侧电路，n个一次侧电路彼此并联连接，n个一次侧电路分别包含至少1个一次侧线圈、和与至少1个一次侧线圈并联连接的m个脉冲产生部，m为2以上的自然数；以及变压器的二次侧电路，其包含二次侧线圈，所述二次侧电路与一对放电电极连接。