高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

摘要

高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压，该高电压脉冲产生装置具有：n个变压器芯，它们构成变压器，n为2以上的自然数；变压器的n个一次侧电路，n个一次侧电路分别包含与基准电位连接的第1端子和与充电器连接的第2端子，并且包含至少1个一次侧线圈、与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个二极管、和与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个脉冲产生部；以及变压器的二次侧电路，其包含二次侧线圈，所述二次侧电路与一对放电电极连接。