一种强韧化CrTiNiSiN纳米复合涂层制备方法

摘要

本发明公开了一种强韧化CrTiNiSiN纳米复合涂层制备方法，包括以下步骤：1)对基材进行镜面抛光和超声清洗；2)将Ti靶和Cr靶分别安装在直流靶上，Si靶和CrNi靶安装在射频靶上，将基材装夹在样品台上，关闭密封盖，改变沉积腔真空度，运用氩离子轰击基材表面进行清洗除污；3)沉积过渡Cr层；4)沉积CrN涂层；5)沉积CrTiNiSiN涂层。实现层间相的稳定过渡，有效提高层间界面质量和结合力；断面形成硬度逐渐增加的梯度，有效提高复合涂层整体的抗载能力；通过优化制备工艺，在实现增韧的前提下有效保证硬度值。