一种光学位移传感器及光学位移检测系统

摘要

本发明公开了一种光学位移传感器，包括按照同一中心线依次设置的：光源模块，用于产生非均匀光场；可移动定位标尺，其上设有周期性微纳结构，用于在所述非均匀光场的照射下产生表面等离子波，并相互干涉形成近场干涉图像；成像模块，用于将所述近场干涉图像转化成远场成像图；成像探测器，用于将所述远场成像图的光场强度转化成电信号，以实现位移测量。本发明提供的光学位移传感器同时实现了大量程、高精度的位移测量要求，且具有非接触、稳定度高等优点，能够广泛应用于超精密位移测量和超精密加工制造等领域。