一种高精度光学位移传感器的设计分析

摘要

利用晶体双折射和由散射偏振引起的光学干涉技术 ,设计出一种高精度光学位移传感器 该传感器采用同轴光学系统 ,测量精度约为 4 μm ,测量范围不小于 2 8mm ,且测量时不需要使用相干光源 ,故结构紧凑。