公开/公告号CN113406881A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN202110390682.1
申请日2021-04-12
分类号G05B11/42(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11319 北京润泽恒知识产权代理有限公司;
代理人莎日娜
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-06-19 12:37:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-09-08
授权
发明专利权授予
机译: 用于在半导体器件的制造中在工件衬底上沉积III-V半导体材料的系统,具有腔室和衬底支撑结构,在该腔室和衬底支撑结构上装载并通过检修门卸载工件衬底
机译: 储存废物的腔室城市垃圾,例如在机械处理,在腔室的外部设有操纵和卸载表面,以便将废物存储在腔室中
机译: 一种在腔室中通过cvd在半导体晶片上沉积层的方法以及一种在腔室中通过cvd在半导体晶片上沉积层的腔室