一种低漏导高耐压固态电介质薄膜电容器及其制备方法

摘要

本发明涉及电容器制备方法技术领域，涉及一种低漏导高耐压固态电介质薄膜电容器，包括壳体及封装在壳体内的电容器单元，所述电容器单元包括自上而下一次设置的上部电极、氧化物电介质薄膜、基底，所述氧化物电介质薄膜表面为一层结晶化的氧化物。还公开了一种低漏导高耐压固态电介质薄膜电容器的制备方法。本发明在选用的铝氧化合物表面经过结晶化处理，经过简单处理，实现了同一薄膜具有两种不同的结构，使该类铝氧化合物电介质薄膜的漏电流和击穿场强得到有效提升。