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公开/公告号CN113410232A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 西安微电子技术研究所;
申请/专利号CN202110663159.1
发明设计人 任永宁;刘如征;杨永峰;葛洪磊;刘存生;刘依思;李钊;
申请日2021-06-15
分类号H01L27/092(20060101);H01L29/10(20060101);H01L21/8238(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人马贵香
地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
入库时间 2023-06-19 12:37:08
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