一种用于电容式湿度传感器的上电极材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于电容式湿度传感器的上电极材料及其制备方法，具体涉及微纳制造技术领域，包括淀积在湿敏材料层上的金属黑材料，所述金属黑材料选自金、银、铝或铂金属材料中的一种或若干种的混合物。本发明本发明采用多孔的金属黑材料作为上电极，由此增大外界空气与湿敏材料的接触面积，避免了传统电容式湿度传感器上由于电极材料致密导致的水分子交换速率低的问题，由于外界空气与湿敏材料的接触面积增大，空气流速也随之增大，进而提高了湿敏材料吸湿和脱湿的速率，从而提高湿度传感器的灵敏度、降低响应时间及降低回滞特性，因此在不影响其电容特性的同时可以优化湿度传感器性能。