电容式高分子湿度传感器上电极制造技术

摘要

对用聚酰亚胺材料制造的电容式高分子湿度传感器的上电极制造工艺与过程进行了深入研究，在传统的制作方法基础上又开发了新的制造工艺。在材料上用Ｃｒ代替Ａｕ，在工艺上，分别采用掩膜和光刻技术，直接制造出多孔、连续、均匀的上电极，提高了生产的操作性，产品质量的一致性、稳定性和感湿特性。