CNTガス透過電極を有するポリイミド湿度センサの高速化のための膜厚及びポリイミド材料の検討

摘要

本研究ではガス透過性に優れた多層カーボンナノチューブ（CNT）を上部電極とした含フッ素ポリイミドを感湿層とした容量式ポリイミド湿度センサの超高速化に向けた検討を行った。水分子の拡散モデルに基づき感湿層の膜厚を薄くしたり含フッ素量が高いポリイミドを採用することで10ミリ秒台に高速化した。また感度についても含フッ素量を変えることで低下したが、薄膜化により補完することで、高速で高感度な容量型湿度センサの実現の可能性を明らかとした。