一种单质量全对称三轴硅微加速度计

摘要

本发明涉及三轴加速度计，具体是一种单质量、全对称的三轴硅微加速度计。本发明解决了现有三轴加速度计结构复杂、良率低、轴间串扰大的问题。一种单质量全对称三轴硅微加速度计，包括玻璃基底、玻璃盖帽、质量块、四根三自由度弹性梁、四个锚块、X轴检测电极、Y轴检测电极、Z轴检测电极；所述质量块、四根三自由度弹性梁、四个锚块、X轴检测电极、Y轴检测电极均为硅结构，且位于玻璃基板和玻璃盖帽之间；所述质量块、四根三自由度弹性梁的下表面与玻璃基底平行且留有间隙；所述质量块、四根三自由度弹性梁的上表面与玻璃盖板平行且留有间隙；本发明适用于导航制导、姿态控制等高端应用领域。