具有表面微柱体结构的固态影像传感器暨其制作方法

摘要

本发明公开一种具有表面微柱体结构的固态影像传感器暨其制作方法，其中该固态影像传感器所具有的像素包含一光电转换部位，由一第二掺杂型半导体层与一半导体材料层构成，并且该第二掺杂型半导体层接触一第一掺杂型半导体基底。一抗反射部位具有多个微柱体位于该半导体材料层上，其中该些微柱体被伸入该光电转换部位的凹部所分隔，各该微柱体的折射率从底部往顶部逐渐变小并小于该半导体材料受光层的折射率。