具有内埋式电极的导电结构、固态电容及其制作方法

摘要

一种具有内埋式电极的导电结构、固态电容及其制作方法，其包括：基板单元、第一导电单元、第二导电单元、第一绝缘单元、第三导电单元、第二绝缘单元及末端电极单元。基板单元具有基板本体及内埋于基板本体内的导电体，基板本体具有侧边开口及多个顶面开口，导电体具有一被侧边开口所裸露的侧边导电区及多个分别被多个顶面开口所裸露的顶面导电区。第一导电单元具有多个分别覆盖多个顶面导电区的第一导电层。第二导电单元具有一覆盖上述多个第一导电层的第二导电层，第二导电层的孔隙率大于每一个第一导电层的孔隙率。基板单元、第一导电单元与第二导电单元组合成一具有内埋式电极的导电结构。本发明可有效提高生产效率，便于进行大量生产。