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存储器件及其铁电场效应晶体管和读取方法

摘要

一种配置为多位存储器件的铁电场效应晶体管(FeFET),该FeFET包括:半导体衬底,在该半导体衬底中具有源极区,在该半导体衬底中具有漏极区;栅极堆叠件在半导体衬底上,其中源极区和漏极区延伸到栅极堆叠件的相对侧,该栅极堆叠件包括在半导体衬底上方的铁电层,以及在铁电层上方的栅极区。晶体管还包括铁电层的第一端和第二端,其分别对应于源极和漏极区。铁电层包括偶极子。在铁电层的第一端的第一组偶极子具有第一极化。在铁电层的第二端的第二组偶极子具有第二极化,第二极化与第一极化基本上相反。本发明的实施例还涉及存储器件及读取铁电场效应晶体管的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN113380892A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-09-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;

    申请/专利号CN202110602234.3

  • 申请日2021-05-31

  • 分类号H01L29/78(20060101);H01L29/51(20060101);H01L27/1159(20170101);G11C11/22(20060101);

  • 代理机构11409 北京德恒律治知识产权代理有限公司;

  • 代理人章社杲;李伟

  • 地址 中国台湾新竹

  • 入库时间 2023-06-19 12:32:17

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