用于衬底的环境敏感表面的牺牲性保护层

摘要

一种用于在处理期间保护衬底的表面的方法包含：a)提供溶液，所述溶液形成具有上限温度的共聚物；b)将所述溶液分配于所述衬底的表面上，以形成牺牲保护层，其中所述共聚物为动力学捕获的，以使得能在高于所述上限温度的温度下保存；c)使所述衬底暴露于周围环境并持续预定时段；以及d)通过使用选自由紫外(UV)光和热所组成的群组的刺激而使所述牺牲保护层解聚合。