一种由肖特基结势垒控制的短路阳极横向绝缘栅双极型晶体管及其制作方法

摘要

本发明提出了一种由肖特基结势垒控制的短路阳极横向绝缘栅双极型晶体管及其制作方法。该器件利用了阳极与N型缓冲区形成的肖特基接触，N型阳极区提供了额外的电子抽取通道，同时在肖特基结势垒产生的自建电势作用下，由此形成的空间电荷区能够占据电子抽取通道。该器件保留了短路阳极结构的优点，能够明显抑制器件关断时的电流拖尾现象，降低器件的关断损耗，并且由自建电势形成的空间电荷区可以控制电流通道的开启，有利于彻底消除器件导通时由传统短路阳极结构引起的电流折返现象，最终缓解了器件在正向特性和开关特性之间的矛盾关系。