公开/公告号CN113249696A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州科技大学;
申请/专利号CN202110418028.7
申请日2021-04-19
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/58(20060101);G03F7/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王佳丽
地址 215000 江苏省苏州市高新区学府路99号
入库时间 2023-06-19 12:13:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-26
授权
发明专利权授予
机译: 制备抗干法腐蚀的正负光刻胶的方法
机译: 一种制备多层系统以及相应的多层光刻胶系统的方法
机译: 一种即用型haarkrausungsfluessigkeiten的制备方法及其实现方法