伸缩式冷热探针组件、等离子体诊断系统及诊断方法

摘要

本发明公开了一种伸缩式冷热探针组件、等离子体诊断系统及诊断方法，包括：共轴安装的冷探针组件和热探针组件；所述冷探针组件包括绝缘套管和设置在绝缘套管末端的球形探针；所述球形探针上设有设定大小的狭缝；热探针组件设置于所述绝缘套管内部，所述热探针组件包括热探针灯丝，所述热探针灯丝通过绝缘支架与伸缩件连接，所述伸缩件能够使得热探针灯丝自所述狭缝伸出绝缘套管或收回绝缘套管内部。本发明等离子体空间电位由发射探针的零发射极限拐点电势法获得，在等离子体空间电位测量方面，发射探针技术比单探针技术更可靠。