电子探针和离子探针的IC诊断系统

摘要

电子探针与机械探针 集成电路工艺在几何尺寸方面向两个极限挑战,园片直径增大到300mm(12英寸),线宽缩小到0.15μm以下,而芯片集成度达到上千万个元件。同时,时钟频率越来越高,微处理器1GHz芯片正用到台式PC,2GHz芯片随时准备上市,售价往往几百美元。为提高成品率和缩短上市时间,半导体供应商采取各种可靠和高效率的测试手段。在园片流片后测试管芯的电学性能,诊断和修复故障,减少废品进入后工序,被证明是行之有效的方法。