一种hBN/BAlN异质结紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光电器件及功能薄膜技术领域，公开一种hBN/BAlN异质结紫外探测器及其制备方法；所述hBN/BAlN异质结紫外探测器，包括：BAlN薄膜层，形成于衬底的上表面；hBN薄膜层，形成于所述BAlN薄膜的表面上，且覆盖一半的BAlN薄膜；两个电极，分别形成于BAlN薄膜和hBN薄膜表面上。本发明设计的紫外探测器具有对深紫外光更灵敏的特征，能实现波长250nm以下深紫外光的响应，同时具有良好的热稳定性、化学稳定性以及抗辐射能力，可以在极端恶劣的环境下工作，可兼具自供电和柔性特点，应用场景更广泛。