一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法

摘要

本发明公开了一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法，直拉法单晶炉包括：炉体和设置于所述炉体内部的坩埚、加热组件、测温组件和坩埚驱动组件，所述加热组件套设于所述坩埚外侧，所述测温组件连接于坩埚底端，所述坩埚驱动组件连接于所述测温组件一侧，所述加热组件、测温组件和坩埚驱动组件与控制器电连接。本发明结构简单，保温效果好，热量利用率高，在坩埚底端设置测温组件，对坩埚底端温度进行实时监控，通过控制器根据预设温度对加热组件的功率进行调控，实现坩埚内温度的控制，提高了单晶硅的品质，保证了单晶硅产出的一致性，进一步提高拉晶效率。