一种环型高密度五氧化二钽镀膜材料的制备方法

摘要

本发明提供了一种环型高密度五氧化二钽镀膜材料的制备方法，主要包括以下步骤：(1)将五氧化二钽粉体原料装入环型模具中，采用冷等静压成型为环型坯体；(2)将得到的环型坯体机加工为环型氧化钽中间品；(3)将环型氧化钽中间品移入高温炉中进行烧结致密化，得到白色环型高密度五氧化二钽镀膜材料；(4)将白色环型高密度五氧化二钽镀膜材料在真空条件下进行高温处理，得到灰色或黑色环型高密度五氧化二钽镀膜材料。通过该制备方法制备五氧化二钽镀膜材料具有制备工艺简单，得到的五氧化二钽镀膜材料相对密度大于90％(理论密度按8.8g/cm3计算)，并且，镀膜过程稳定，避免镀膜过程中出现放气量大及喷溅等问题。