公开/公告号CN102121099B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-13
原文格式PDF
申请/专利号CN201010022721.4
申请日2010-01-08
分类号C23C16/52(20060101);C23C16/46(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人王一斌;王琦
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:13:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-13
授权
授权
2012-12-19
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/52 变更前: 变更后: 登记生效日:20121116 申请日:20100108
专利申请权、专利权的转移
2011-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/52 申请日:20100108
实质审查的生效
2011-07-13
公开
公开
机译: 薄膜沉积工艺和装置,在薄膜沉积工艺中使用的红外气体分析仪以及在薄膜沉积工艺中使用的混合气体供应装置
机译: 薄膜电池制造中的锂沉积工艺中使用的掩膜装置,配置用于锂沉积工艺的设备,薄膜电池的电极的制造方法以及薄膜电池
机译: 使用有机二硅烷源通过LPCVD在低至100?•的温度下沉积二氧化硅薄膜