一种适用于白光扫描干涉的微观形貌快速测量方法

摘要

本发明公开了一种适用于白光扫描干涉的微观形貌快速测量方法，该算法通过上位机软件程序控制压电陶瓷按照微步距在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，每移动一步采集存储1幅干涉图到计算机，对存储的时序干涉图进行自适应中值滤波处理。采用超对称搜索法找出时序干涉图中每个像素点光强最大值的位置，并记录该位置处所在的干涉图帧数，根据相关公式初步计算形貌的高度信息。利用七步相移算法提取干涉条纹的相位信息，结合初步计算的结果，并依据相关公式解包裹精确恢复被测样品微观形貌。本发明解决了相移算法中噪声奇点干扰和相邻像素点相位变化不能超过2π的问题，并有效减少扫描误差带来的影响，同时具有测量精度高、算法简单、适用性强等特点。