Zastosowanie skaningowej interferometrii w ?wietle bia?ym do oceny topografii powierzchni

摘要

W pracy sprawdzono mo?liwo?ci zastosowania skaningowej interferometrii w ?wietle bia?ym do oceny topografii powierzchni wykonanych z ró?nych materia?ów. W artykule opisano podstawy tej metody oraz wskazano na jej zalety i pewne ograniczenia. W badaniach zastosowano skaningowy interferometr Talysurf CCI 6000 firmy Taylor Hobson, wykorzystuj?cy koherencyjn? interferometri? korelacyjn?. W rezultacie przeprowadzonych badań okre?lono mo?liwo?ci zastosowania tej techniki pomiarowej do oceny topografii powierzchni wykonanych z ró?nych materia?ów oraz podstawowe parametry metrologiczne zastosowanej metody.