一种单片集成的宽带开关滤波器组及其制备方法

摘要

本发明属于射频技术领域，具体涉及一种单片集成的宽带开关滤波器组。本发明通过在图形化的金属电路层上制备一层钝化层，使得SMR型薄膜体声波滤波器可以集成制备于衬底上，实现了宽带开关滤波器组的单片集成工艺兼容。最终制备的单片集成的宽带开关滤波器组具有大带宽、频率高的特性，可应用在特定小尺寸的场景中。