公开/公告号CN113066746A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN202010001290.7
发明设计人 不公告发明人;
申请日2020-01-02
分类号H01L21/68(20060101);H01L23/544(20060101);
代理机构31260 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人成丽杰
地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
入库时间 2023-06-19 11:42:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
授权
发明专利权授予
机译: 晶片预对准装置,其判断晶片存在的方法,感测晶片边缘位置的方法,具有用于执行该位置感测方法的记录程序的计算机可读记录介质,用于感测晶片边缘位置的装置以及预对准传感器
机译: 预对准装置和预对准方法
机译: 预对准装置和预对准方法