一种拼接物镜的剂量控制装置、方法和曝光设备

摘要

本发明提供了一种拼接物镜的剂量控制装置、方法和曝光设备，拼接物镜的剂量控制装置用于曝光设备，包括控制单元和至少一个具有透光狭缝的遮光挡板，遮光挡板活动设置于所述曝光设备上，沿光路传播方向，遮光挡板设置于曝光光源和拼接物镜之间，拼接物镜包括若干个子物镜；控制单元与遮光挡板连接，用于控制遮光挡板的移动速度和位置，能够使同列排布的拼接物镜的光束同时通过或同时被遮挡。本发明提供拼接物镜的剂量控制装置、方法和曝光设备，能够控制拼接物镜的子物镜或多个拼接物镜的曝光时间完全一致，从而能够精准控制曝光剂量，提升曝光效果。