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一种V2O5-Ga2O3异质结自供电日盲光电探测器及制备方法

摘要

本发明提供了一种V2O5‑Ga2O3异质结自供电日盲光电探测器及制备方法。所述探测器包括作为n型导电的Ga2O3材料和作为p型导电的V2O5材料形成的V2O5‑Ga2O3异质结,以及与上述材料欧姆接触的电极。本发明的制备方法通过对V2O5‑Ga2O3异质结进行二次退火,促进了平面异质结的形成和内建电场的产生,使异质界面可以有效分离激发态的电子‑空穴对,实现自供电工作模式。本发明提供的V2O5‑Ga2O3异质结自供电日盲光电探测器探测灵敏度高,响应速度快,其制备方法易于实现及有效,生产成本低,有利于生产和研究推广。

著录项

  • 公开/公告号CN113054050A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京邮电大学;

    申请/专利号CN202110299201.6

  • 发明设计人 唐为华;李山;李培刚;

    申请日2021-03-21

  • 分类号H01L31/109(20060101);H01L31/032(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构11691 北京清诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人喻颖

  • 地址 100088 北京市海淀区西土城路10号

  • 入库时间 2023-06-19 11:39:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-23

    授权

    发明专利权授予

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