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一种提升转移良率的芯片转移方法

摘要

本发明公开一种提升转移良率的芯片转移方法,其采用设有压力检测件的转移结构,通过该转移结构拿取待转移的芯片并承载该芯片朝转接板运动预设距离,并通过其上的压力检测件检测该芯片与转移结构之间的压力来确认芯片是否正常转移至转接板,若感测到预设压力值,驱使转移结构回原;反之,通过转移结构承载该芯片继续朝转接板运动进行距离补偿直至压力检测件感测到预设压力值;然后,将转接板上的芯片的电极与基板上的焊盘电极对位并焊接固定。本发明可以有效避免因转接板翘曲、芯片厚度差异或者蓝膜变形导致转移至转接板上的芯片阵列出现漏芯等问题,从而避免基板漏芯的等情形,提高了芯片转移良率。

著录项

  • 公开/公告号CN113013068A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东莞市中麒光电技术有限公司;

    申请/专利号CN202110228522.7

  • 发明设计人 薛水源;庄文荣;孙明;付小朝;

    申请日2021-03-01

  • 分类号H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101);H01L33/48(20100101);

  • 代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;

  • 代理人张艳美;刘光明

  • 地址 523000 广东省东莞市东城街道桑园工业路17号

  • 入库时间 2023-06-19 11:32:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-11-11

    授权

    发明专利权授予

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